，主要為晶粒粘貼、封膠后烘烤過程產(chǎn)生的烘烤廢氣
針對電子廠半導(dǎo)體行業(yè)有機(jī)廢氣和毒性氣體的治理，筒式
沸石轉(zhuǎn)輪廢氣處理技術(shù)的凈化原理是：
將普通的220V/380V交流電通過變壓器，變頻器轉(zhuǎn)換為高頻高壓的電壓
，產(chǎn)生足以擊穿氣體的電壓，釋放出高能電子
，高能電子破壞有機(jī)廢氣中的氣體分子之間的化學(xué)鍵
，斷開這些化學(xué)鍵從而產(chǎn)生了各種碳原子、氧原子
、氫原子
、氫氧自由基、臭氧等混合體
，等離子體中的氧原子和碳原子結(jié)合形成二氧化碳
，氧原子和氫原子結(jié)合形成水分子，終產(chǎn)生排放到大氣中的氣體為無污染的二氧化碳（CO2）和水(H2O)
。
我公司定制的半導(dǎo)體有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)方案，VOCs排放濃度符合當(dāng)?shù)氐呐欧艠?biāo)準(zhǔn)，在半導(dǎo)體行業(yè)中該系統(tǒng)設(shè)備更科學(xué)
、更安全
、高效率的解決廢氣問題，性價(jià)比更高
，且無二次污染。
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